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工艺路线维护功能实操教程|LED 芯片 CIM-MES 系统

【LED 芯片 CIM-MES 实操教程】第 02 节|全系列共 20 节
工艺路线是整个 CIM-MES 的"骨架":工序顺序、防跳站管控、每道工序的 W-Time 预警阈值,全部从这里配置。本节是理解后续 W-Time 体系(第 05 节)的必读前置。

一、功能简介

工艺路线维护,是为指定产品配置有序生产工序链的功能模块:配置工序顺序、工序类型、是否必过工序、绑定工位类型、工序标准工时,以及最关键的——每道工序的 W-Time 超时预警阈值。

它解决三个业务痛点:

  1. 流转顺序失控:没有系统管控时,批次可能跳过某个工序直接往后流(跳站),比如没做清洗就去裂片,整批报废。工艺路线定义了"必须按什么顺序走",配合进站校验强制拦截跳站;
  2. 工位作业无标准:每道工序绑定工位类型和标准工时,排产、效率分析才有基准;
  3. 时序异常无人知:批次卡在某个工位两小时没人发现,等到交期爆了才追。工艺路线里配置的 W-Time 预警阈值,就是让系统替你盯着——等待超时自动告警、安灯推送。

一句话:工艺路线是全工位 W-Time 时序管控的源头。

二、适用场景

场景 使用岗位 说明
新产品导入工艺工程师新品试产前,为产品配置首版工艺路线
工艺改版工艺工程师 / 工艺主管工序增减、参数调整,走版本管理
工序增减工艺工程师如新增一道 AOI 外观检测工序
试产转量产工艺主管试产路线验证通过后固化量产版本

权限说明:维护权限为工艺工程师、工艺主管。评审权限为工艺主管 / 厂长。试产和量产路线建议分开建版本,避免试产参数混入量产。

前置依赖:目标产品必须已完成产品建档且状态为【启用】(见第 01 节)。

三、前置准备

  1. 权限确认:当前账号具有【工艺管理-工艺路线维护】权限;
  2. 产品已启用:确认要绑定产品的主数据状态为【启用】;
  3. 工序清单梳理完成:按实际生产顺序整理出完整工序清单(LED 芯片典型链路:外延 MOCVD → 光刻 → 刻蚀 → 清洗 → 裂片 → PL 测试 → 分选),明确每道工序的类型、是否必过、标准工时;
  4. 预警阈值标准确定:和生产、品质确认每道工序的等待时长上限和加工时长上限——这不是拍脑袋定的,建议先按历史经验值配置,运行两周后按实际 W-Time 数据修正。

四、字段说明与管控规则

4.1 路线级字段

字段 说明 管控属性
路线编码路线唯一标识唯一
关联产品绑定已启用产品必选
路线版本V1.0 起步变更加版本,不覆盖
生效日期 / 失效日期版本有效期过期路线不可被新工单引用

4.2 工序级字段(核心)

字段 说明 管控属性
工序序号生产流转顺序不可重复,冲突拦截
工序名称如"光刻"、"PL 测试"必填
工序类型加工 / 检验 / 辅助枚举选择
是否必过工序是 → 跳站拦截;否 → 可跳过默认"是"
绑定工位类型批次只能在该类工位进站必选
标准工时排产与效率基准必填
W1-W2 等待预警阈值进站请求到放行的时长上限超时弹窗告警 + 安灯推送
W3-W4 加工超差阈值实际加工与标准工时偏差上限超差预警
是否自动采集EAP 联机自动采集 W3/W4开启后减少人工录入
是否需要质检出站时是否强制质检判定开启后出站校验联动品质
W-Time 提示:本模块配置所有工序的 W-Time 预警参数,工序流转时自动读取。W1-W5 的完整定义见第 05 节:W1 进站请求、W2 放行、W3 开始加工、W4 加工完工、W5 出站完成。

4.3 版本管控规则

  • 工艺路线版本化管理,变更必须走 ECN(见第 12 节),不允许直接修改在用版本;
  • ECN 改版时新增版本号,旧版本锁定归档;历史工单继续沿用旧版本跑完,新工单引用新版本;
  • 生效日期未到的版本,工单不可提前引用。

五、完整操作流程

第一步:新建工艺路线

进入【工艺管理】→【工艺路线】→【新增】,填写路线编码,绑定目标产品,填写版本号 V1.0 和生效日期。

第二步:按实际生产顺序添加工序

逐条添加工序:录入工序序号(1、2、3…)、名称、类型,勾选是否必过工序,绑定工位类型,填写标准工时。序号系统强制唯一,冲突直接保存失败。

第三步:配置每道工序的 W-Time 预警阈值

展开每道工序的【时序管控】配置页:

  • 等待预警阈值(W1-W2):如清洗工序 30 分钟。超时系统弹窗告警并推送安灯;
  • 加工超差阈值(W3-W4):如外延工序标准工时 180 分钟,允差 ±20%,实际加工超过 216 分钟触发预警;
  • 按工序特点差异化配置——外延、光刻这类长周期工序阈值放宽,清洗、裂片这类短工序收紧。

第四步:保存草稿并提交评审

核对工序顺序无误后保存草稿,点击【提交评审】,流转工艺主管评审。

第五步:评审处理(分支判断)

  • 评审通过 → 路线版本生效,进入可用状态,工单可以引用;
  • 评审驳回 → 修改工序配置后重新提交评审。驳回意见会附在评审记录里。

第六步:ECN 改版(量产期间工艺变更)

量产过程中需要调整工序(比如增加一道检验),不允许修改在用版本。正确路径:发起新版本 → 配置新工序链 → 提交 ECN 审批 → 审批通过后新版本按时生效。旧版本自动锁定归档。

六、流程图讲解

工艺路线配置与评审流程

流程主线:新建 → 加工序 → 配阈值 → 草稿 → 评审 → 生效。两个出口要注意:

  • 评审驳回走左侧回环,修改后重提,全部留痕;
  • 量产后的变更不走评审回环,而是走右侧 ECN 改版通道,新版本生效、旧版本归档。

工序 W-Time 预警阈值管控示意

这张图是本节的灵魂——W-Time 阈值在工位上到底怎么起作用:

  • 橙色段(W2-W1):批次扫码进站后到放行的等待时长。超过你配置的等待预警阈值,系统弹窗告警 + 安灯推送,拉动组长处理——批次堵在工位门口不再是"没人知道"的事;
  • 红色段(W4-W3):实际加工时长对比标准工时的超差。持续超差往往意味着机台状态异常或工艺参数漂移,是设备工程师的排障入口;
  • 紫色段(W5-W1):批次在这个工位的总停留时间。超时触发 WIP 滞留预警,防止在制品积压拖垮交期。

配置建议:阈值宁松勿紧,先跑两周看真实 W-Time 分布(第 20 节的 YMS 报表可以统计),再逐步收紧到合理水位。阈值定得太紧,告警天天响,最后所有人都把告警当背景噪音——等于没配。

七、常见报错与排查

报错提示 拦截原因 排查方法
"工序序号冲突,保存失败"两条工序用了相同序号检查序号是否连续唯一;插入新工序时先重排后段序号
"工单无法选择该路线:路线未生效"路线还在草稿 / 评审中,或生效日期未到查版本状态和生效日期;未生效就催评审,日期未到核对计划
"该路线已过期,禁止引用"工单创建时路线失效日期已过由工艺工程师发新版路线或延长有效期
"必过工序缺失,批次无法出站"生产中该工序未执行(跳站拦截)核对路线配置与实际作业顺序;确需跳过走特采 / 异常审批

现场经验:试产评审被驳回最多的原因是"阈值没配"——工艺工程师以为阈值是上线后 IT 配的,其实它在工艺路线里,和工序一起维护。评审前按 4.2 清单逐项自查一遍。

八、业务注意事项与审厂合规要点

业务注意事项:

  1. 工序顺序以现场实测为准:路线里的顺序必须和车间实际作业一致,"文档一套、现场一套"是审厂大忌,也是跳站拦截误报的根源;
  2. 长周期工序开自动采集:外延、PL 测试这类工序建议开启 EAP 自动采集(第 15 节),减少人工误录 W3/W4;
  3. 试产 / 量产隔离:试产路线版本和量产版本分开,试产数据不进量产良率统计。

审厂合规要点:

  • 版本化证据链:客户审厂核查"工艺变更受控"时,系统须能展示路线版本历史、每版评审记录、ECN 关联单号;
  • 在制批次版本匹配:ECN 切版后,追溯任一批次使用的路线版本,必须与其投产时间匹配——旧批次用旧版、新批次用新版,不能混;
  • 阈值合理性:客户工艺审核时可能抽查预警阈值设置依据,建议保留阈值制定的评审记录。

九、本节落地检查表

  1. [ ] 工序顺序与现场实际作业逐道核对,班组长签字确认
  2. [ ] 「必过工序」标记与品质管控点完全一致
  3. [ ] 每道工序标准工时都有历史数据或工时测定支撑
  4. [ ] W1-W2 等待阈值先用经验值,跑两周后按实测修正
  5. [ ] W3-W4 超差阈值按工序类型差异化(长周期工序放宽)
  6. [ ] 路线版本与产品版本的对应关系表已建立
  7. [ ] 评审记录、ECN 关联单号已归档可查
  8. [ ] 试产路线与量产路线分开建版本,未混用

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下一篇预告:第 03 节《RMS 配方(Recipe)版本管控实操教程》——保护工厂工艺 Know-how 的关键模块:配方线上审批、机台版本自动比对、不一致拦截开工。

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