半导体FDC故障诊断v2｜OEE与设备效能工具
这个工具解决什么问题
设备类分析最怕「指标漂了但没人发现」，因此阈值判定会明确给出。
FDC（Fault Detection & Classification）故障检测与分类系统是半导体FAB设备监控的核心工具。实时监测设备腔室的工艺参数（温度、压力、流量、功率等），当参数超出预设阈值时立即告警，帮助工程师快速定位设备异常，保障生产质量。
输入数据格式
数据文件 sample_fdc_data.csv，列顺序为：timestamp、Temperature、Pressure、FlowRate、Power、Voltage、Current、RF_Power、Chamber_Pressure、fault_label。
示例首行：2024-01-01 08:00:00,46.84,1.23,55.63,282.61,220.17,12.63,1,207.24,5.35,normal
1. 实时告警监控
· 支持10个设备腔室（CVD-01/02, ETCH-01/02, IMP-01/02, PVD-01/02, CLEAN-01/02） · 6种参数类型：温度、压力、流量、功率、真空度、射频功率 · 严重程度分级：高/中/低，自动判定 · 告警历史记录，包含超标比例计算
2. 阈值配置
· 每个参数类型独立配置上下限阈值 · 支持温度(℃)、压力(Torr)、流量(sccm)、功率(W)、真空度(Pa)等 · 阈值修改即时保存 · 趋势图中可视化显示阈值线
3. 数据可视化
· 折线趋势图：展示参数随时间变化趋势，正常值vs报警值对比 · 腔室告警统计柱状图：各腔室告警数量分布 · 支持图表导出PNG图片
4. 数据管理
· 内置50条FDC告警数据 · 支持添加、编辑、删除告警记录 · 多条件筛选：腔室、参数类型、严重程度、处理状态 · 关键词搜索 · 右键菜单快捷操作
5. Excel导出
· 导出完整告警记录 · 自动生成统计汇总表 · 腔室维度的告警统计
🖥️ 系统要求
· Python 3.8+ · tkinter（Python内置） · matplotlib >= 3.5.0 · pandas >= 1.3.0 · openpyxl >= 3.0.0
安装依赖
pip install -r requirements.txt
运行工具
python fdc_tool.py
可调参数与计算口径
脚本顶部集中了主要阈值与常量：FONT_NAME="SimHei"、PARAM_TYPES=["温度", "压力", "流量", "功率", "真空度", "射频功率"]、FDC_DATA=generate_fdc_data()。改完直接重跑即可，不必改动计算逻辑。
脚本里的主要处理步骤
generate_fdc_data()：生成50条FDC报警数据
以上步骤在脚本中是分开的函数，可以单独调用或按需替换其中一段，不必整体重写。
工具中出现的字段与提示
- 射频功率
- 传感器漂移
- 工艺波动
- 设备老化
- 冷却异常
- 气体纯度问题
- 真空泵性能下降
- RF匹配器故障
- 晶圆载具污染
- 人为操作失误
- 未知原因
- 生成50条FDC报警数据
- 告警时间
- 设备腔室
- 参数类型
- 超标比例
- 严重程度
- 处理状态
其余字段以界面与示例报告为准。
下载与文件清单
压缩包内包含：主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档。解压后按说明运行即可，示例数据可直接试跑。
主程序文件：fdc_tool.py。
本站工具免费下载，无需注册。工具为 Python 脚本，Python 3.8 及以上环境可直接运行，核心功能尽量不依赖第三方库。
常见问题
输入数据要准备成什么样？
按 示例首行中的列顺序准备即可，共 10 列：timestamp、Temperature、Pressure、FlowRate、Power、Voltage、Current、RF_Power。列为空或格式不符时结果会失真，建议先用示例数据试跑一遍。
阈值可以改成我们自己的标准吗？
可以，脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明，按自己产线的标准修改后重跑即可，不需要改计算逻辑。
示例数据能直接跑吗？
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内，解压后直接运行即可看到完整输出，确认无误再替换成自己的台账。
同一工具的其它收录名称
本站早期还以以下名称收录过同一款工具，下载内容完全一致：
- FDC故障检测工具集
- FDC故障诊断工具
同分类的其它工具
分类归属：OEE与设备效能工具包；完整清单在 工具资源包下载页。
