几百台机器，谁决定这批货先上哪台？

台系CIM入门解说 · 第7篇 ｜ 主线案例：Lot L261029-A01-001｜12寸晶圆｜产品A01

早班八点的一单活

早上八点十分，L261029-A01-001 出了上一站，接下来要去 ET2 做刻蚀。阿凯盯着屏幕看：能做这道工序的刻蚀机一共有五台，ET01 到 ET05。

他心里先替系统排了一遍：ET01 在保养，排程上写着明天中午才交机；ET03 正在跑另一批货，还剩两小时；ET04 排队的三盒货已经压到晚上；ET05 昨天刚做完年度保养，正在跑验证片；ET02 空着。

"这还用算吗？直接派 ET02 啊。"阿凯说。

"先别急，"老周把鼠标推过去，"你漏看了三行字。"

阿凯凑近看：ET02 的机台状态旁边，挂着一条黄色提示——该机台的某项保养项目今天下午两点到期，到期后自动停机两小时；它的下家已经预约了一盒十二点整到的急单；另外它连着跑了九天，加工数据的稳定性评分在五台里排第三。

三秒钟后，系统做出决定：这盒货派 ET02，赶在十二点那盒急单之前做完，同时自动向搬送系统发了一条请求，一辆头顶轨道上的小车已经出发去取货。

"你不是说 ET02 空着吗？确实派它了。但派它不是因为空，是因为算完之后它最合适。"老周说，"这两件事差得远了。"

替系统做这个决定的模块，叫 RTD，实时派工系统。

派工不是"谁空给谁"

打个比方你就懂了：RTD 是餐厅的领位员。

客人（Lot）在门口排队，桌子（机台）有空的，听起来直接领进去就行。但一个像样的领位员要看的不止这个：这桌三个人坐得下一家人吗？这桌是不是被人预约了？带小孩的客人是不是不能安排在包厢音响边上？

RTD 每次派工，都在算两个问题：

谁能做。 这台机器有没有资格做这个产品——做过认证没有、量测评分合不合格、机台自己有没有挂 Hold、要用的那把"刀"在不在寿命期内。一台没做过产品 A01 认证的机器，再空也不能上。

谁该先做。 全厂一天几千个 Lot 在跑，背后是几百家客户的订单，交期有先有后，有的是急单，有的允许慢。谁先上机，直接决定谁准时出货、谁赔违约金。系统里每个 Lot 都有一个优先级分数，交期越近分越高，插单就是临时加分。

两个问题叠在一起，五台机器、几十盒排队货、几百条约束条件，人脑算不过来，RTD 算一次不到一秒。别小看这一秒——一座厂一天派工几十万次，每次省几秒，就是上千台机器一天多挤出几个小时的产能。

锁机台：不能两盒货抢一张桌子

派工还有个容易忽略的动作：锁。

系统把 ET02 指给这盒货的瞬间，会在机台上落一把锁，别的 Lot 就不能同时被派过来。听起来是废话？不是。老周讲过他见过的一个事故：早期某厂两套派工逻辑打架，前一秒把 ET02 派给了 A 货，后一秒又派给了 B 货，两盒货的搬送车一前一后到了机器门口，先到的上机做了一半，后到的货在门口干等，白占了一条搬送线四十分钟。

餐厅里领位员把两拨客人领到同一张桌子，双方都得站着骂人。所以领位员的规矩是：一桌一客，领进去就登记。RTD 的锁就是这个登记，从派工那一刻起，到货真正上机、机器确认开工，这张桌子都是你的。

派错了怎么办？取消重派

机器不是死的，计划赶不上变化，所以 RTD 还有第三条命：派了能取消，取消能重派，不能卡死。

下午三点二十，设备工程师老陈那边传来消息：ET02 一个腔体传感器读数飘了，老陈按规程把机器停机检修。系统几乎在同时收到机台的停机事件，把它的资格先摘了，排在它后面的三盒货，三十秒内全部重派：一盒去了刚保养完、验证合格的 ET05，两盒调到了 ET03 的队列。

没有电话，没有白板，没有人在过道里喊"那批货改去五号机"。

因为老周没赶上人工排片的年代，他只能讲听来的故事——他台湾的老前辈是真经历过的。那时排片靠一块白板加对讲机：白板上写着每台机器当天的排程，画满磁贴；急单一来，班组长拿着板擦重新排，对讲机里吼一嗓子让仓库改送货车。有一回一个急单被排到一台还没做完产品认证的机器上，因为白板上没写认证状态——整批货做完全部重检，客户罚了一笔违约金，那个班组长写了一个月的检讨。

"白板不记资格，不记交期，只记'今天谁排第一'，"老周说，"它不是排片工具，是省事工具。"

派工排的到底是什么

很多人以为派工是在伺候机器，其实反了。机器空十分钟，厂里一分钱没少；一盒货晚了三天，赔的是真金白银，丢的是客户信任。

所以 RTD 的每一个决定，名义上在挑机器，实际上在保交期。机器空着不丢人，货晚了才丢人——这是老周的原话，他说这句话的时候，屏幕上正有四百多个 Lot 在排队。

一句话收束今天这篇：几百台机器怎么选，是一笔算得清的账——资格、优先级、锁、重派，四个词就是 RTD 的全部骨架。

不过，货派到 ET02 门口，还差最后一道坎：系统说的是"人话"，机器只听得懂另一种东西。你把菜谱念给它听，它一个字都接不住；它回你话，你也一个字都看不懂。这盒货要真正开工，中间还必须站着一个翻译。

下一篇就讲这个翻译：《机器只会说一种方言，谁给它当翻译？》——聊聊 EAP，全厂几百台机器共同的传声筒。