CMP浆料管理：颗粒团聚导致的划伤
[公开] CMP浆料管理：颗粒团聚导致的划伤 【摘要】CMP工序的划伤缺陷有相当比例并非来自研磨垫或修整盘，而是浆料在储运、稀释、输送环节发生颗粒团聚造成的。本文完整记录一次氧化层CMP划伤攻关：从大...
[粉丝专享] 缺陷聚类分析：无监督方法定位工艺问题
![[粉丝专享] 缺陷聚类分析：无监督方法定位工艺问题](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003340178655242049307.png)
[粉丝专享] 缺陷聚类分析：无监督方法定位工艺问题 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的良率工程类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工...
良率提升项目管理：从立项到收尾的方法论
[公开] 良率提升项目管理：从立项到收尾的方法论 【摘要】良率提升项目失败的原因往往不是技术不行，而是项目管理失控：目标模糊、基线不准、实验设计随意、结论无法固化。本文给出一套完整的六阶段项目管理方法...
SPC数据分层：设备/腔体/批次维度的正确拆解
SPC数据分层：设备/腔体/批次维度的正确拆解 同一产品不同设备/腔体的数据混在一起算SPC的陷阱，正确的分层策略与判异逻辑 一、背景故事：控制图"风平浪静"，良率却在悄悄恶化 在...
MES报表体系：管理层到底想看什么数据
[粉丝专享] MES报表体系：管理层到底想看什么数据 【摘要】一份132页的月度制造报表，管理层真正会看的只有3页。本文记录我们对全厂217张报表的完整盘点过程，拆解报表分层模型、指标血缘与单一事实源...
SPC与工程规格的博弈：谁说了算的现实困境
[粉丝专享] SPC与工程规格的博弈：谁说了算的现实困境 【摘要】控制限来自过程本身，规格限来自设计与客户，两者冲突时到底听谁的？本文用栅氧厚度与关键尺寸两个真实案例，拆解四种典型冲突场景的判定逻辑，...
向量数据库存储工艺文档：语义搜索比关键词快10倍
向量数据库存储工艺文档：语义搜索比关键词快10倍 用向量数据库（Milvus/FAISS）存储SOP/Recipe/异常处理文档，实现FAB知识语义检索 一、背景故事：为什么半导体工艺文档检索成了痛点...
用扩散模型做缺陷数据增强：小样本良率建模救星
[粉丝专享] 用扩散模型做缺陷数据增强：小样本良率建模救星 【摘要】缺陷分类模型在Fab落地最大的障碍是稀有缺陷样本极少。本文完整记录用扩散模型为晶圆缺陷图做数据增强的工程实践，包含训练超参、生成质量...
工程师的时间管理：救火与规划的平衡
[粉丝专享] 工程师的时间管理：救火与规划的平衡 【摘要】本文用一个薄膜工艺组连续12周的真实改造记录，拆解Fab工程师"整天救火、没时间规划"的结构性成因，给出异常分级响应矩阵、...
数字孪生工厂：从概念到FAB落地的距离
数字孪生工厂：从概念到FAB落地的距离 半导体数字孪生工厂的技术架构、实时数据同步难点与产线落地案例，含虚实映射分层 PPT里的数字孪生工厂很炫，但真正的FAB里连实时数据同步都还没搞定——差距在哪里...