半导体百科:半导体薄膜厚度均匀性分析与工艺改善实战

叶志辉5天前1
半导体百科:半导体薄膜厚度均匀性分析与工艺改善实战
半导体百科:半导体薄膜厚度均匀性分析与工艺改善实战 摘要 薄膜厚度是半导体 FAB 中最基础、也最容易被低估的工艺参数之一。CVD、PVD、PECVD 几乎每一个模块都在沉积薄膜,而厚度均匀性直接决定...

半导体缺陷Bin Map分析与良率根因定位实战

叶志辉5天前3
半导体缺陷Bin Map分析与良率根因定位实战
半导体缺陷Bin Map分析与良率根因定位实战 作者:半导体FAB工程师 | 公众号:芯片工艺与良率管理 | 发布日期:2026-07-20 一、问题背景:一场真实的良率危机 2024年8月,某12...

半导体离子注入剂量均匀性分析与工艺窗口优化

叶志辉5天前1
半导体离子注入剂量均匀性分析与工艺窗口优化
半导体离子注入剂量均匀性分析与工艺窗口优化 FAB工艺工程 | 离子注入 | 均匀性建模 | Python数据分析 一、问题背景 2024年第三季度,某8英寸Fab在0.18um BCD(Bipola...

半导体百科:半导体设备效率 OEE 分析——从 60% 到 85% 的实战改善之路

叶志辉5天前1
半导体百科:半导体设备效率 OEE 分析——从 60% 到 85% 的实战改善之路
半导体百科:半导体设备效率 OEE 分析——从 60% 到 85% 的实战改善之路 半导体智能制造 | MES 工程师实战笔记 一、问题背景 半导体制造是资本极度密集的产业,一台光刻机(Scanner...

半导体生产排程APS实战:用Python实现FAB智能优化

叶志辉5天前1
半导体生产排程APS实战:用Python实现FAB智能优化
半导体生产排程APS实战:用Python实现FAB智能优化 遗传算法 + 约束理论 + 甘特图可视化 | 良率提升+交期达成的工业级方案 摘要 半导体晶圆厂(FAB)的生产排程是典型的大规模约束优化问...

半导体批次追溯与良率分析:MES系统实战全流程

叶志辉5天前3
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半导体批次追溯与良率分析:MES系统实战全流程 批次状态机 | WIP甘特图 | Lot Genealogy | 良率损失分解...

半导体MES系统架构实战:从模块设计到工单状态机实现

叶志辉5天前2
半导体MES系统架构实战:从模块设计到工单状态机实现
半导体MES系统架构实战:从模块设计到工单状态机实现 ThinkPHP6 + Vue3 + Python 状态机 | FAB工单管理 | SECS-GEM集成 | 数字孪生展望 一、问题背景:一次工单...

半导体良率YMS系统实战:从数据采集到智能预警

叶志辉5天前3
半导体良率YMS系统实战:从数据采集到智能预警
半导体良率YMS系统实战:从数据采集到智能预警 一、问题背景 在12英寸晶圆厂担任良率整合工程师的第三年,我撞上过一次代价惨痛的"数据黑洞"。那是一条月产能约4万片的 Logic...

半导体百科:FAB设备综合效率 OEE 自动化计算与可视化看板

叶志辉5天前1
半导体百科:FAB设备综合效率 OEE 自动化计算与可视化看板
半导体百科:FAB设备综合效率 OEE 自动化计算与可视化看板 摘要 设备综合效率(Overall Equipment Effectiveness,OEE)是衡量FAB产线设备真实产出能力的核心KPI...

半导体百科:EAP 设备自动化接口实战 —— 从一次 Recipe 惨案说起

叶志辉5天前2
半导体百科:EAP 设备自动化接口实战 —— 从一次 Recipe 惨案说起
半导体百科:EAP 设备自动化接口实战 —— 从一次 Recipe 惨案说起 在 12 英寸晶圆厂(FAB)里,设备自动化程度直接决定了产能、良率与可追溯性。本文以一次真实发生的 Recipe 版本...