FDC 和 SPC 有什么区别？一个看设备、一个看产品，采样频率差三个数量级
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FDC（Fault Detection and Classification，故障检测与分类）和 SPC（Statistical Process Control）经常被放在一起说，但两者盯的对象、数据频率、响应时间完全不同。
核心区别
| 维度 | FDC | SPC |
|---|---|---|
| 监控对象 | 设备状态（温度、压力、RF 功率、气体流量） | 产品质量特性（膜厚、CD、电阻） |
| 数据来源 | 设备传感器，时序数据 | 量测站点，抽检数据 |
| 采样频率 | 秒级甚至毫秒级，全量 | 每小时/每批，抽样 |
| 发现时机 | 异常发生当时（实时） | 下一批量测之后（滞后） |
| 输出 | 报警 + 故障分类 | 控制图判异 |
为什么两个都要
SPC 的问题是滞后：等量测结果出来，可能已经跑坏了几十片。FDC 的价值是在设备参数开始漂移、但产品还没变坏的窗口里就报出来——这个窗口往往是几十分钟到几小时。
但 FDC 也有盲区：它只知道「参数偏了」，不知道「偏了会不会影响产品」。同样 5% 的 RF 功率漂移，在 A 工序可能没事，在 B 工序就是致命。所以 FDC 报警之后，还是要靠 SPC 和量测确认影响。
两者的关系是前哨与确认，不是替代。
FDC 实施的两个坑
- 阈值拍脑袋定：直接拿规格上下限当 FDC 阈值，结果要么天天报、要么从来不报。正确做法是用历史正常批次的分布算 3σ 或分位数。
- 不做故障分类：只报警不分类，工程师还得自己判断是哪类问题。FDC 的价值一半在「分类」——把报警按成因（气路、射频、温控、机械）归好，排查时间能砍掉一大半。
和 APC 的关系
FDC 是检测，APC（先进过程控制）/ R2R（Run-to-Run）是闭环调节。完整链路是：FDC 发现漂移 → APC 调整下一批的配方参数 → SPC 确认产品质量回到中心。三者串起来才叫闭环，缺一个都是开环。
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