IPQC 工序巡检功能实操教程｜LED 芯片 CIM-MES 系统
【LED 芯片 CIM-MES 实操教程】第 07 节｜全系列共 20 节
IQC 把关在进厂（第 06 节），OQC 把关在出货（第 11 节），中间最长的那段——批次正在机台上加工的过程——归 IPQC 管。外延一炉 4 小时、光刻一批半天，等 W4 完工才发现参数漂了，整批报废已经发生。IPQC 的价值就一句话：在批量不良发生之前把它拦下来。
一、功能简介
IPQC 工序巡检，是品质对加工中批次的过程抽检：批次处于 W3（生产开始）到 W4（生产完工）区间内时，IPQC 巡检员对在机批次发起巡检任务，录入巡检项目与结果。判定 OK，巡检结案、批次继续生产；判定 NG，系统锁定批次、暂停 W-Time 计时，自动生成异常单，走异常闭环。
它解决过程品质的两个老大难：
- 完工才知不良：长周期工序（外延生长、深刻蚀）参数漂移在初期就有表征——波长偏移、膜厚异常。加工中途抽检发现，一炉只废一半；等完工发现，一炉全废。IPQC 把"发现时点"从 W4 挪到 W3~W4 之间，报废量可能差一个量级；
- 巡检与生产数据两张皮：纸单巡检只记录"检了、OK"，和批次、工序、时间对不上。系统里巡检记录强制绑定 batch_id 与对应工序的 W3-W4 加工区间——后续做良率分析（第 20 节），可以直接按"这个批次加工中被检出过异常"切片，异常批次和正常批次的对比一目了然。
关于 W-Time：巡检本身不写 W1-W5，但它管 W-Time 的暂停键。判定 NG 锁批后，批次 W-Time 计时同步暂停（锁定时长不计入加工时长），解封恢复后继续计时。这样 W4-W3 加工时长反映的才是真实加工时间，而不是"加工时间 + 停在那里等人处理的糊涂账"。
二、适用场景
| 工序 | 巡检重点 | 建议频次 |
|---|---|---|
| 外延（MOCVD） | 波长 / 亮度初测片、膜厚抽测 | 每炉必巡（长周期、高价值） |
| 光刻 | 图形对位、线宽抽测、显影外观 | 每批首末件 + 中间抽检 |
| 刻蚀 | 刻蚀深度、侧壁形貌抽测 | 每批抽检 |
| 清洗 / 裂片 | 外观、残留、崩边 | 抽检 |
岗位分工：IPQC 巡检员发起巡检、录入结果、判定 OK/NG；品质主管负责异常单的评审与解封锁批；工艺工程师配合异常分析。发起巡检的前提条件是刚性的：批次必须处于 W3 已启动、W4 未完工的加工中状态——还没开工的批次去巡检没有对象，已完工的批次该走出站校验或 OQC，不是 IPQC 的活。
三、前置准备
- 巡检标准已配置：各工序的巡检项目、抽检数量、判定界限由品质主管在系统维护（与 IQC 检验标准同一套配置入口，第 06 节）。没有巡检标准的工序，巡检任务发起不了；
- 在机批次可见：巡检员登录后，【加工中批次】列表实时显示全厂 W3~W4 区间的批次（机台、工序、已加工时长）。列表是空的先查两件事：车间是不是真没开工，或者 EAP 断连导致 W3 没写入（第 15 节）；
- 量测设备就位：膜厚仪、显微测量等抽测工具在校验有效期内；
- 异常单流转人明确：判定 NG 后异常单推给谁（品质主管 + 对应工艺工程师），提前配置好接收账号——异常单推不到人，锁批就变成干等。
四、字段说明与管控规则
4.1 核心数据字段
| 字段 | 说明 |
|---|---|
| 巡检单号 | 一次巡检一条记录 |
| batch_id / 对应工序 | 强制绑定，自动带出，不可改 |
| 巡检开始时间 / 完成时间 | 系统自动记录 |
| 巡检项目 / 结果数值 | 按巡检标准逐项录入 |
| 判定结果 | OK / NG |
| 异常标记 / 异常单号 | 判 NG 自动生成异常单并关联 |
| 巡检员 | 自动取当前账号 |
4.2 管控规则（必记四条）
- 只在 W3~W4 窗口内发起：批次没有 W3（未开工）或已有 W4（已完工），系统拒绝发起巡检。这是硬校验，不是流程建议；
- 判 NG 即锁批：批次锁定，进站 / 出站全部拦截（联动第 05 节），W-Time 计时暂停；
- 锁批必须走异常单闭环：异常单记录异常描述、原因分析、处理措施，品质主管确认闭环后才能解封。没有"直接解锁"按钮；
- 巡检记录不可删：OK 的记录是过程管控证据，NG 的记录是异常闭环的起点，都不允许删除重录。
五、完整操作流程
第一步：选择在机批次。 巡检员打开【加工中批次】列表，按巡检计划（每炉必巡的外延、按频次抽检的光刻 / 刻蚀）选择目标批次。批次状态必须显示"加工中（W3~W4）"。
第二步：发起巡检任务。 点击【发起巡检】，系统校验批次处于 W3~W4 区间，通过后生成巡检单，自动带入 batch_id、工序、机台、已加工时长。同时把"该批次正在被巡检"的状态同步到工位端——操作员看到巡检标识，知道品质在跟这批。
第三步：现场抽测与录入。 巡检员到机台现场按标准抽测，回到系统录入各巡检项目数值，必要时上传照片附件。
第四步：判定，两分支：
- OK → 巡检结案。批次继续生产，W-Time 持续计时，巡检记录归档。同一批次可以多次巡检（外延一炉 4 小时，首、中、末各巡一次很正常），每次独立成单；
- NG → 系统连锁反应三件事：① 批次锁定，工位端弹出拦截提示，进站 / 出站同时关闭；② W-Time 计时暂停，锁定时长不计入加工时长；③ 自动生成异常单，推送给品质主管与工艺工程师。
第五步：异常闭环（NG 分支）。 工艺工程师分析原因（参数漂移 / 来料问题 / 机台异常），在异常单里填写分析结论与处理措施——可选项包括：调整参数后本批继续、返工、报废、让步接收（联动特采逻辑，参考第 06 节）。品质主管评审确认，闭环异常单，解封锁批，批次恢复生产，W-Time 继续计时。
六、流程图讲解
流程的重心在右下角那个闭环：NG → 锁批 → 异常单 → 分析处理 → 评审解封。注意解封的前置条件是异常单闭环，不是"处理完了口头说一声"。锁批期间批次哪儿都去不了，这个"强制等待"就是逼着异常走完书面闭环——快，但是有记录地快。
这张图解释系统怎么保住加工时长的"纯度"：W3 开工到 W4 完工之间如果被巡检锁定 40 分钟，最终报表里 W4-W3 加工时长不含这 40 分钟，它会单独归到"异常停留"里。没有这个设计，一次巡检 NG 就把整个工位的效率数据污染了——分不清是机台慢还是出了异常在等处理。
七、常见报错与排查
| 报错提示 | 拦截原因 | 排查方法 |
|---|---|---|
| "无法发起巡检：批次未开工（无 W3）" | 批次还在 W2 放行后待上机状态 | 等机台 RUN 信号写入 W3 再巡；确认 EAP 联机正常，W3 未写入先报 CIM（第 15 节） |
| "无法发起巡检：批次已完工（有 W4）" | W4 已写入，批次离开加工中状态 | 完工批次走出站校验 / OQC 流程，不再走 IPQC |
| "无法发起巡检：批次已锁定" | 该批次已被其他巡检或异常锁批 | 查锁定原因与在途异常单，别重复发起 |
| "巡检标准未配置" | 该工序没有维护巡检项目 | 品质主管补巡检标准后重新发起 |
| "异常单推送失败：接收人未配置" | 异常单流转账号缺失 | 品质主管补配置接收人后重推 |
现场经验：巡检员最容易犯的错是嫌锁批麻烦，NG 也口头通知不停批。批次带病跑完 W4，报表上一切正常，报废在下游工序才爆出来，那时候已经查不到"其实中途就发现了"。系统给 IPQC 的定位就是"你判 NG，系统就停批"——这个权重要敢用。
八、业务注意事项与审厂合规要点
业务注意事项：
- 频次按风险定：外延必巡、光刻刻蚀抽检，别一刀切——巡检员时间有限，铺太匀等于没巡；
- 异常单写透原因："参数异常，已调整"这种分析过不了审厂，要写到"X 腔温度 TC2 显示偏差 +3℃，校准后重测合格"的程度；
- 解封前复核：品质主管解封前看一眼处理证据（重测数据、照片），解封是对整批的放行，不是对流程的放行；
- 巡检发现的问题要回喂标准：同类 NG 出现三次，说明巡检界限或工艺参数该改了——走 ECN（第 12 节），别让巡检员每次都靠经验临时判断。
审厂合规要点：
- 记录绑定加工区间：每条巡检记录都挂着 batch_id 与 W3-W4 时序，客户问"这批加工过程中有没有检出过异常"，系统直接回答，不用翻纸单；
- 异常闭环留痕：NG → 异常单 → 原因分析 → 措施 → 评审解封，全链路在系统内完成，闭环时长可统计——审核员最认"发现问题的机制 + 关闭问题的机制"这两件事同时存在；
- 锁批不可绕过：锁定批次的进站 / 出站拦截记录全部留痕，可以证明"异常批次没有流出该工位"。
九、本节落地检查表
- [ ] 各工序巡检标准（项目 / 频次 / 界限）已配置生效
- [ ] 加工中批次列表与车间实际一致（EAP 联机正常）
- [ ] NG 判定 100% 触发锁批，无口头停线
- [ ] 异常单闭环率 100%，原因分析写到参数级
- [ ] 锁批时长与加工时长分开统计，效率数据未被污染
- [ ] 异常单接收账号覆盖全部工序，推送无失败
- [ ] 每月复盘巡检 NG 记录，推动标准 / 参数修订走 ECN
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下一篇预告：第 08 节《PL 光电测试、BIN 分级与 Wafer Map 解析实操教程》——从抽检回到全检：一台测试机怎么把每颗芯片的波长、亮度、电压逐颗测完，按 BIN 分级并渲染出那张审厂必备的晶圆 Map 图。
