这个工具解决什么问题 先解决可比性,再谈改善。这工具先把数据整理到同一口径上。 用于监控连续型工艺参数的均值与波动,适用于半导体FAB中所有子组型数据。 同时显示Xbar均值图和R极差图,自动标红...
这个工具解决什么问题 半导体FAB统计过程控制(SPC)实时监控工具。 内置10种常用工艺参数(膜厚/CD/剂量/电阻/WAT等)的SPC规则检测引擎, 实时检测越界、趋势漂移、连续偏移等6类异常,...
这个工具解决什么问题 对工艺参数时序数据(如薄膜厚度、刻蚀速率、温度等)自动应用 Nelson 8条判异准则,标注所有违规点并生成判异报告。 Nelson 8条准则: Rule 1: 1个...
这个工具解决什么问题 先解决可比性,再谈改善。这工具先把数据整理到同一口径上。 本软件是一款专业的测量系统分析(MSA)工具,采用均值极差法(Xbar-R)进行Gage R&R分析。 适用于半导体...
这个工具解决什么问题 单值-移动极差控制图 (I-MR Chart) 用于监控连续型单点测量数据, 不要求分组,适合FAB中无法分组或每次只有1个读数的场景。 I-MR 单值移动极差控制图 - F...
这个工具解决什么问题 EWMA (Exponentially Weighted Moving Average) 控制图是一种加权控制图, 对近期数据赋予更高权重,对微小漂移比传统 Shewhart...
这个工具解决什么问题 把手工反复核对的环节交给脚本,是这类工具最实在的收益:省下的不是时间,是返工。 本工具用于计算半导体制造过程的过程能力指数Cp/Cpk/Pp/Ppk, 判断工艺是否满足规格要...
这个工具解决什么问题 质量数据的常见坑是「看起来算完了但前提没满足」。这工具会在输出里提示适用性。 输入预防/鉴定/内部失效/外部失效成本,算COPQ占比,绘制帕累托图与堆叠构成图 ======...
这个工具解决什么问题 质量工具的价值在于让不同人算同一批数据能得到同一个答案,而不是算得更花哨。 本工具用于检验工艺数据是否符合正态分布,是 SPC 控制图分析的先决条件。 仅使用 Python...
这个工具解决什么问题 半导体FAB WAT(晶圆接受测试)数据质量自动化检查工具。 内置50行含脏数据的FAB工艺参数表,自动检测缺失值、范围越界、 格式错误、重复行等质量问题,在表格中以红色单元格...